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MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE (MEB)

Le microscope électronique à balayage permet d’obtenir une image fortement agrandie de la surface d’échantillons épais, mais aussi d’en analyser la composition

Pour cela, un faisceau d’électrons est focalisé sur l’échantillon qui réémet d’autres électrons et des rayons X. L’analyse de ces électrons secondaires permet de déduire la topographie de l’échantillon, et l’analyse des rayons X permet de connaître la composition chimique.

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Un microscope électronique à balayage à émission de champ pour l’observation et la microlithographie de nanostructures.
(B. Rajau, Phototheque CNRS)